WEKO3
アイテム
超高温急速熱処理がSiウェーハ中の点欠陥と格子欠陥の挙動に与える影響
https://doi.org/10.15009/00002390
https://doi.org/10.15009/00002390fd5c3f0d-e4ba-43ba-bde9-f9f56b0df6b7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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博士学位論文（須藤治生） (17.6 MB)
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内容の要旨・審査結果の要旨（須藤治生） (359.0 kB)
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| Item type | 学位論文（H26~） / Thesis or Dissertation (1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2021-04-26 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 超高温急速熱処理がSiウェーハ中の点欠陥と格子欠陥の挙動に与える影響 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.15009/00002390 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| 論文名よみ | ||||||||
| タイトル | チョウコウオン キュウソク ネツ ショリ ガ Si ウェーハチュウ ノ テン ケッカン ト コウシ ケッカン ノ キョドウ ニ アタエル エイキョウ | |||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||
| 著者 |
須藤, 治生
× 須藤, 治生
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| 学位授与年度 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 2020 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第141号 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2021-03-24 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 25301 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与機関名 | 岡山県立大学大学院 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
