WEKO3
アイテム
高感度ＣＭＯＳイメージセンサ用Ｓｉウェーハのゲッタリング特性に関する研究
https://doi.org/10.15009/00002288
https://doi.org/10.15009/00002288e48809ee-0804-4b16-b746-00e259e8dc01
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
博士学位論文（柾田亜由美） (2.3 MB)
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内容の要旨・審査結果の要旨（柾田亜由美） (336.2 kB)
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| Item type | 学位論文（H26~） / Thesis or Dissertation (1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-05-24 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 高感度ＣＭＯＳイメージセンサ用Ｓｉウェーハのゲッタリング特性に関する研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.15009/00002288 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 論文名よみ | ||||||
| その他のタイトル | コウカンド CMOS イメージ センサヨウ Si ウェーハ ノ ゲッタリング トクセイ ニ カンスル ケンキュウ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
柾田, 亜由美
× 柾田, 亜由美 |
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| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2018 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第130号 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2019-03-22 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 25301 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 岡山県立大学大学院 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
